汞燈平行光源

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汞燈平行光源

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應(yīng)用于：

半導(dǎo)體晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以高壓短弧球形汞燈作為光源，采用了柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡及拋物反射鏡等光學(xué)鏡組形成面光源，實現(xiàn)波長365nm的紫外光（i線為主），光束垂直照射于半導(dǎo)體光刻機(jī)掩膜板進(jìn)行芯片光曝光，光能利用率高，光強(qiáng)分布均勻。

性能參數(shù)：

序號	項目	性能要求
1	型號	HGUV-365-D6-400-AC
2	光源	高壓短弧汞燈
3	照明尺寸	>160x160mm（可定制）
4	工作波長	主波長365nm
5	照明不均勻性	<3%
6	照明強(qiáng)度	>30 mW/cm2 @ 365nm
7	準(zhǔn)直角（C Angle）	<2.5°
8	傾斜角（D Angle）	<0.3°
9	工作距	300-400mm
10	溫度/能量反饋	燈室溫度實時檢測/光路能量實時監(jiān)測
11	燈源調(diào)節(jié)	光源位置可電控調(diào)節(jié)，X向：±5mm，Y向：±5mm，Z向：10mm
12	冷卻方式	風(fēng)冷或水冷