激光直寫光刻鏡頭

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激光直寫光刻（Laser Direct Writing, 簡稱LDW）或稱激光直接成像（Laser Direct Imaging, 簡稱LDI），是一種利用計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任意圖形的技術(shù)。

傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜版需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜版的設(shè)計需要經(jīng)常改變。激光直寫光刻是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。當(dāng)前技術(shù)主要應(yīng)用于PCB電路板印刷、阻焊油墨印刷、IC載板印刷等行業(yè)。

在激光直寫系統(tǒng)中，鏡頭（通常指投影光刻物鏡）扮演著關(guān)鍵角色，負責(zé)將激光束聚焦并準確地投影到目標基材上。激光直寫光刻鏡頭需要滿足高精度、高分辨率以及良好的光學(xué)性能等要求，以確保激光束能夠準確地投射到目標位置，并產(chǎn)生清晰、精確的圖形。鏡頭的設(shè)計和制造過程需要考慮到多種因素，包括材料選擇、光學(xué)設(shè)計、加工精度以及裝配調(diào)試等。

波長光電針對激光直寫光刻系統(tǒng)，做了長期的研發(fā)和試驗，相繼成功開發(fā)出不同倍率的直寫光刻照明鏡頭和成像鏡頭等產(chǎn)品，并同步開發(fā)一體化的光機模組，為光刻機領(lǐng)域的發(fā)展貢獻力量。